Вакуумом (от лат. vacuum «пустота») в идеале называют пространство, свободное от вещества. На практике под вакуумом понимают состояние, при котором давление газа значительно, на порядки, ниже атмосферного. Например, самый простой вакуум, технический, принято считать существующим с давления около 1 мм рт. ст. (нормальное атмосферное примерно 740-760). Ну и далее, вплоть до сверхвысокого. Получение вакуума ниже 10–5 паскалей (Па) или обеспечение большой скорости откачки при среднем вакууме являются сложными техническими задачами. Сверхвысокий вакуум в английском часто пишется как UHV. Это режим, характеризующийся давлением ниже 10−7 Па. Именно его применяют передовые заводы микроэлектроники. Собственно, о вакууме в электронике мы сегодня и расскажем.
Читать далееВакуумные технологии в электронике: патентный анализ