Electron beam deposition (EBD) – технология получения компонентов полупроводниковых, оптических и других устройств с помощью управляемых электронных лучей. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале.
Читать далееЭлектронно-лучевое осаждение в электронике: патентный анализ