Direct laser writing (DLW) или лазерное письмо – технология получения компонентов полупроводниковых, оптических и других устройств с помощью сфокусированных лазерных лучей. Её также называют multiphoton lithography и иногда direct laser lithography. О ней мы и поговорим в сегодняшнем материале.
Читать далееDirect laser writing в микроэлектронике и фотонике: патентный анализ